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RAID 5 陣列含有三個以上硬碟，將資料分割為易於管理的區塊，稱為區塊延展。同位檢查是一種數學方法，可重建單一硬碟機上遺失的資料，因而提高容錯能力。資料與同位檢查可以跨越陣列中所有的硬碟加以延展。同位檢查會以循環序列區塊延展，可降低同位檢查計算相關的瓶頸。
RAID 5 陣列的容量 = 最小磁碟機的大小 x (陣列中磁碟機的數目 - 1) 相當於只有一個硬碟機用來儲存同位檢查資訊，以此達到容錯，而容量減少的程度只有 RAID 1 的 50% 不到。舉例來說，三個 400 GB 硬碟的 RAID 5 陣列配置，在作業系統會以一個 800 GB 硬碟來顯示。
RAID 5 的主要優點包含容量和資料防護。因為同位檢查用於資料防護，所以可用容量高達磁碟機總容量的 75%。進一步來說，在任何單一磁碟機故障時，可用新的磁碟機替換故障硬碟後，重建資料。然而，在重建磁區的同時，計算遺失資料的額外工作將會造成 RAID 5 磁區的寫入效能下降。
RAID 5 陣列的讀取效能優於單一磁碟機的效能，因為可以從多個磁碟機上同時讀取資料。磁碟寫入無法達到同樣的優勢，因為必須計算同位檢查並寫入所有的磁碟機。
為了增強 RAID 5 的寫入效能，「Intel® 矩陣儲存管理員」軟體已採用 RAID 5 磁區回寫快取以及結合機制。
磁區回寫快取可以寫入到緩衝區，因而改善結合機制。此快取預設為停用，但使用者可以透過 Intel® 組合儲存主控台加以啟用。若要啟用此快取，建議使用不斷電系統 (UPS)。
此結合機制可以將寫入要求結合起來，成為較大的要求，減少同位檢查計算每次寫入的 I/O 數量。此結合機制預設為啟用，使用者不能選擇停用。
| 磁碟下限 |
| 優點 |
提高可用容量的百分比，除了容錯之外還可提高讀取效能。 |
| 容錯 |
優 - 將故障的硬碟機換成新的硬碟機之後，同位檢查資訊可協助重建資料。 |
| 應用程式 |
儲存大量極重要的資料。 | |
適用於：
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